黑风老妖 发表于 2009-12-19 23:37:35

HCL和硅粉反应的副产物是什么了，含量多少？

HCL和硅粉反应的副产物是什么了，含量多少？

laowang1982 发表于 2009-12-22 11:14:35

TCS 约80-85%，其它的就是STC、DCS之类的了

ranrui 发表于 2009-12-22 14:32:38

控制得好的话，三氯氢硅现在可以占到85%以上了，副产物主要是四氯化硅，其次还有二氯二氢硅和一些金属杂质的氯化物。

myfriday 发表于 2009-12-24 12:46:16

2# laowang1982 DCS是什么？多谢

laowang1982 发表于 2009-12-24 13:30:54

DCS 就是二氯二氢硅的缩写Dichlorosilane

fan51288 发表于 2009-12-31 15:26:07

副产物有二氯二氢硅、四氯化硅还有一些硼化物、磷化物。至于含量多少得看你们的操作技术水平啦！

情合赢 发表于 2009-12-31 16:39:54

刚见到一套生产TCS的工艺，亲身体会啊，装置不多，但是产品很不错，合成之后含有TCS、STC、DCS、硼磷的化合物和金属杂质，粗产品中TCS含量85以上，经过分离提纯后达到99.8，比较犀利。

fan51288 发表于 2009-12-31 22:45:22

多晶硅要求好像是很高的！

谭寅 发表于 2010-1-9 11:40:32

刚见到一套生产TCS的工艺，亲身体会啊，装置不多，但是产品很不错，合成之后含有TCS、STC、DCS、硼磷的化合物和金属杂质，粗产品中TCS含量85以上，经过分离提纯后达到99.8，比较犀利。
情合赢 发表于 2009-12-31 16:39

                              
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现在是三氯氢硅纯度都够，关键看你的杂质控制的怎么样，主要是硼磷，要求太高了，

woteaiwuyang 发表于 2009-12-31 16:39:00

有85%左右的TCS，比较多的STC，少量的DCS以及硼化物和磷化物，还有一些金属氯化物。具体含量要看TCS合成中的操作水平，设备水平以及原料的纯度等。需要综合考虑的。
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