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HCL和硅粉反应的副产物是什么了,含量多少?

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发表于 2009-12-19 23:37:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
HCL和硅粉反应的副产物是什么了,含量多少?
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发表于 2009-12-22 11:14:35 | 显示全部楼层
TCS 约80-85%,其它的就是STC、DCS之类的了
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发表于 2009-12-22 14:32:38 | 显示全部楼层
控制得好的话,三氯氢硅现在可以占到85%以上了,副产物主要是四氯化硅,其次还有二氯二氢硅和一些金属杂质的氯化物。
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发表于 2009-12-24 12:46:16 | 显示全部楼层
2# laowang1982 DCS是什么?多谢
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发表于 2009-12-24 13:30:54 | 显示全部楼层
DCS 就是二氯二氢硅的缩写Dichlorosilane
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发表于 2009-12-31 15:26:07 | 显示全部楼层
副产物有二氯二氢硅、四氯化硅还有一些硼化物、磷化物。至于含量多少得看你们的操作技术水平啦!
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发表于 2009-12-31 16:39:54 | 显示全部楼层
刚见到一套生产TCS的工艺,亲身体会啊,装置不多,但是产品很不错,合成之后含有TCS、STC、DCS、硼磷的化合物和金属杂质,粗产品中TCS含量85以上,经过分离提纯后达到99.8,比较犀利。
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发表于 2009-12-31 22:45:22 | 显示全部楼层
多晶硅要求好像是很高的!
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发表于 2010-1-9 11:40:32 | 显示全部楼层
刚见到一套生产TCS的工艺,亲身体会啊,装置不多,但是产品很不错,合成之后含有TCS、STC、DCS、硼磷的化合物和金属杂质,粗产品中TCS含量85以上,经过分离提纯后达到99.8,比较犀利。
情合赢 发表于 2009-12-31 16:39

                                
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现在是三氯氢硅纯度都够,关键看你的杂质控制的怎么样,主要是硼磷,要求太高了,
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发表于 2009-12-31 16:39:00 | 显示全部楼层
有85%左右的TCS,比较多的STC,少量的DCS以及硼化物和磷化物,还有一些金属氯化物。具体含量要看TCS合成中的操作水平,设备水平以及原料的纯度等。需要综合考虑的。
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