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› HCL和硅粉反应的副产物是什么了,含量多少?
lixiaolong602
发表于 2010-1-15 10:46:36
本帖最后由 lixiaolong602 于 2010-1-15 17:42 编辑
三氯氢硅:80
四氯化硅:19%
其他(杂质):1%
DCS
AlCl3
聚氯硅烷
以上都是质量含量
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HCL和硅粉反应的副产物是什么了,含量多少?