就是平常心 发表于 2009-10-26 01:42:49
400--700度才会产生氮化硅(停炉时)。正常生产时确实不太容易长出氮化硅。ykjzxz2008 发表于 2009-10-28 11:23:31
氮气是很稳定的,一般是不和硅反应的,但是在高温下是要反应得,他有在低温(650)下的氮化,有高温下(900度也上)的氮化,氮化后的产物是很硬的,只有HF才能和他反应,所以我们要尽量减少氮气置换的时间,升温进料。wyc6880 发表于 2009-10-28 11:56:55
那位大侠能全面点的说明发生氮化的条件?wyc6880 发表于 2009-10-28 12:02:32
我听别人说是在1400以上才能发生氮化的,不知道是不是真的toyoulv 发表于 2009-10-29 10:29:04
我们单位目前产的多晶硅 硅芯和硅棒接触的那个面有时候就会出现彩色,有蓝的,紫的,绿的,不知道是怎么回事,是上面各位说的氧化淡化吗!?小生今天晚上回来发个帖大家给看看,付上图片ruoshui3000 发表于 2010-1-1 10:31:04
彩色的应该是氧化夹层吧,估计氢气质量不行。呵呵hero123gaoli 发表于 2010-1-6 13:54:02
我想问一下那个三氯氢硅和四氯化硅在常温下的汽化焓justin0326 发表于 2010-1-8 15:57:11
很收获,多发贴,真不错songgaojie_610 发表于 2010-1-8 17:54:11
有没有好的办法改善氢气品质!?jl_1016 发表于 2010-1-14 12:50:40
无论是过程氮化还是,开停炉氮化,都是对多晶硅质量的毁灭性打击啊
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