xiaobenbena 发表于 2010-6-3 10:58:15

精馏除磷硼

请问各位大虾了解的多晶硅工艺中磷硼都是怎么除去的，目前好像都用的是湿氮技术，但是具体操作起来没有一个明确的规范，欢迎各位大虾进来讨论下

xiaobenbena 发表于 2010-6-3 14:13:03

没人搞这些东西吗？除硼磷，冷氢化，Zn还原，冶金法制太阳能级，有的联系交流下

szweiersheng 发表于 2010-6-3 14:20:24

我们没有搞这些东西，我们做的是
多晶硅真空包装方案
有兴趣的朋友可以和我讨论。

David_367 发表于 2010-6-4 12:24:39

湿氮是除BP的核心，很少有人交流的！

Minos 发表于 2010-6-4 14:36:36

湿氮根本不是什么核心，完全还属于不成熟技术，除B、P也不是非用湿氮不可

xiaobenbena 发表于 2010-6-4 14:39:37

回复 5# Minos
    除硼磷听说是还有地方直接往沉淀槽里加料，但是具体加什么也不清楚啊，现在用的最多的不就是湿氮吗？不过用起来也不方便

Minos 发表于 2010-6-7 16:06:08

问过美国人了，美国人爱用吸附

ily2009 发表于 2010-6-8 19:56:40

湿氮除B具体操作方法可否大家讨论一二哦，提倡吸附的又如何作呢，我也听说有推销吸附的方法。

xiaobenbena 发表于 2010-6-9 11:57:24

现在有哪些地方在做这方面的事情吗？吸附是直接买技术吗？有没有那家自己做吸附方面的试验的，我这前期准备中

xiaobenbena 发表于 2010-6-9 12:07:15

BCl3 + H2O=   HOBCl2 +HCl   SiHCl3 + H2O=HOSiCl3 + H2　　　　　　　　　　
HOBCl2 + HOSiCl=Cl2B-OSiCl3 + H2O　　SiHCl3 + 3H2O=SiO2•H2O + H2 +3HCl　      水解产生的二氧化硅，是粉末状的固体颗粒，对硼和磷化合物有吸附作用，吸附后形成物具有较高的沸点，达到除去硼杂质的目的。
这些是基本的东西，大家谁还有来分享下
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