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精馏除磷硼

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发表于 2010-6-3 10:58:15 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问各位大虾了解的多晶硅工艺中磷硼都是怎么除去的,目前好像都用的是湿氮技术,但是具体操作起来没有一个明确的规范,欢迎各位大虾进来讨论下
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 楼主| 发表于 2010-6-3 14:13:03 | 显示全部楼层
没人搞这些东西吗?除硼磷,冷氢化,Zn还原,冶金法制太阳能级,有的联系交流下
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发表于 2010-6-3 14:20:24 | 显示全部楼层
我们没有搞这些东西,我们做的是
多晶硅真空包装方案
有兴趣的朋友可以和我讨论。
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发表于 2010-6-4 12:24:39 | 显示全部楼层
湿氮是除BP的核心,很少有人交流的!
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发表于 2010-6-4 14:36:36 | 显示全部楼层
湿氮根本不是什么核心,完全还属于不成熟技术,除B、P也不是非用湿氮不可
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 楼主| 发表于 2010-6-4 14:39:37 | 显示全部楼层
回复 5# Minos
    除硼磷听说是还有地方直接往沉淀槽里加料,但是具体加什么也不清楚啊,现在用的最多的不就是湿氮吗?不过用起来也不方便
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发表于 2010-6-7 16:06:08 | 显示全部楼层
问过美国人了,美国人爱用吸附
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发表于 2010-6-8 19:56:40 | 显示全部楼层
湿氮除B具体操作方法可否大家讨论一二哦,提倡吸附的又如何作呢,我也听说有推销吸附的方法。
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 楼主| 发表于 2010-6-9 11:57:24 | 显示全部楼层
现在有哪些地方在做这方面的事情吗?吸附是直接买技术吗?有没有那家自己做吸附方面的试验的,我这前期准备中
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 楼主| 发表于 2010-6-9 12:07:15 | 显示全部楼层
BCl3 + H2O  =   HOBCl2 +HCl   SiHCl3 + H2O  =  HOSiCl3 + H2          
HOBCl2 + HOSiCl  =  Cl2B-OSiCl3 + H2O  SiHCl3 + 3H2O  =  SiO2•H2O + H2 +3HCl         水解产生的二氧化硅,是粉末状的固体颗粒,对硼和磷化合物有吸附作用,吸附后形成物具有较高的沸点,达到除去硼杂质的目的。
这些是基本的东西,大家谁还有来分享下
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