fzy
发表于 2010-6-9 12:56:10
多晶硅除硼磷主要是在精馏提纯过程中对原料三氯氢硅降低硼磷含量到PPb级，采用的方法有板式与填料精馏塔进行去除，除此之外，还有加湿氮气除硼磷。
xiaobenbena
发表于 2010-6-9 13:40:08
回复 11# fzy
要达到10-11
呢，不只是PPb就可以的
zhangweicheng
发表于 2010-6-9 17:04:50
最简单的就是精馏提纯，不一定要湿氮，只要精馏操作条件和高低沸的排量控制得当，除去磷、硼到规定的程度是完全可以做到的
guanshanyue1986
发表于 2010-6-9 19:32:32
精馏方法是可以的不过很难分离到电子级的产品标准
雨婷
发表于 2010-6-13 15:07:10
最后后处理不是要区熔的吗？我知道区熔可以除去磷含量，但硼含量可能难全部除去。
xiaobenbena
发表于 2010-6-13 17:04:16
不算后处理期间的，就说在精馏这个过程中怎么除去，有没有相关技术的