窥视孔的问题
在cvd反应过程中,硅棒上下的温度应该不是一样吧?但为什么有的炉子的窥视孔却在一个水平面呢,那岂不是有的水平度的温度看不到了啊硅棒是通过电流加热的,上下电流一样,温度也应该差不多的吧,我们的还原炉视镜是对角装的 回复 2# mark810
但是进料是不平衡的丫,上面和下面用的料量我想是不一样的吧,那是不是温度也就不一样了啊 温度确实不一样,我们的窥视孔有上中下三个。 ms 红外测温仪可以对准窥视孔的某个角度
原理类似小孔成像 回复 5# jesscy
也就是说窥视孔可以测到炉里的任何地方的温度? 内圈硅棒温度比外圈高,而内侧温度又要比外侧高,横梁上面的温度偏低,可以从三个方向进行测温。 温度的高低主要是由电流的高低决定的,在硅棒电流相同的情况下,一般来说内圈的温度会高于外圈,上部的温度会高于下部的温度。个人认为主要是由于进料气流和炉壁冷却水的热量损耗所造成的,不知道哪位高手有更合适的见解? 回复 6# huweiminwo
理论上是这样,现场情况好像是选三个有代表性的位置测温度。内圈,外圈,横梁 我们的窥视孔也是上中下三个, 但是环形分布,分别看横梁,底座和中间。上部的温度要高一些。
页:
[1]
2