16981565 发表于 2010-6-9 17:01:23

硅棒温度整体应该是一样的,但是上下受进料量影响,内圈外圈受炉筒壁影响

kuangpu 发表于 2010-6-12 20:30:34

硅棒的温度肯定是不一样的啊
一般来说,硅棒上部温度会比下部高接近100度 ,但如果你进气量足名够大,流速够快,进气温度高,那样,上下的温度会小一点.

李健raul 发表于 2010-6-13 10:10:55

硅棒是通过电流加热的,上下电流一样,温度也应该差不多的吧,我们的还原炉视镜是对角装的
温度的高低主要是由电流的高低决定的,在硅棒电流相同的情况下,一般来说内圈的温度会高于外圈,上部的温度会高于下部的温度。个人认为主要是由于进料气流和炉壁冷却水的热量损耗所造成的,不知道哪位高手有更合适的见解?

wanhongfei 发表于 2010-6-14 11:13:13

还原炉应该有上中下三个窥视孔,一般测中间的温度
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