窥视孔的问题

在cvd反应过程中，硅棒上下的温度应该不是一样吧？但为什么有的炉子的窥视孔却在一个水平面呢，那岂不是有的水平度的温度看不到了啊

硅棒是通过电流加热的，上下电流一样，温度也应该差不多的吧，我们的还原炉视镜是对角装的

回复 2# mark810
但是进料是不平衡的丫，上面和下面用的料量我想是不一样的吧，那是不是温度也就不一样了啊

温度确实不一样，我们的窥视孔有上中下三个。

ms 红外测温仪可以对准窥视孔的某个角度
原理类似小孔成像

回复 5# jesscy
也就是说窥视孔可以测到炉里的任何地方的温度？

内圈硅棒温度比外圈高，而内侧温度又要比外侧高，横梁上面的温度偏低，可以从三个方向进行测温。

温度的高低主要是由电流的高低决定的，在硅棒电流相同的情况下，一般来说内圈的温度会高于外圈，上部的温度会高于下部的温度。个人认为主要是由于进料气流和炉壁冷却水的热量损耗所造成的，不知道哪位高手有更合适的见解？

回复 6# huweiminwo
    理论上是这样，现场情况好像是选三个有代表性的位置测温度。内圈，外圈，横梁

我们的窥视孔也是上中下三个， 但是环形分布，分别看横梁，底座和中间。上部的温度要高一些。