还原炉硅棒温度上下不一样，是什么原因？

tdd 发表于 2010-8-6 08:38:05

最近我们提高了进气量后，硅棒温度上下不一样，下部温度平均比上部能高30度，大家遇到过类似的问题没有？

清冷紫玉 发表于 2010-8-6 12:34:32

很正常，因为提高反应料量以后，横梁部分可以得到充分的物料，炉内的气场是从内圈上去由上而下，是湍流状态，因此硅棒的下部温度明显高于上部温度，这个不用担心，只有在操作过程中注意及时增补电流，防止过大的温差造成倒棒就可以了。

jijixiangshang 发表于 2010-8-6 13:20:39

有道理，我赞成楼上所说的，按理说硅棒上部应该比下部温度高，但因为提高反应料量造成下部比上部温度高，说明进料上部较多，吸收了上部的热量。

tzm10 发表于 2010-8-6 17:29:51

我认为这个问题可以从工艺上解决减小硅棒上部与下部的温度差特别是大型还原炉内圈与外圈的温度梯度

cchlzy 发表于 2010-8-7 10:33:46

看来楼上的都是多晶硅行业人士，佩服！
个人认为应该注意硅棒整体形状防止在生长过程出现畸形，甚至倒棒

13582421 发表于 2010-8-7 20:43:55

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Misilang 发表于 2010-8-9 16:50:46

硅棒上下温差如上所述是正常的，中部区和横梁下部温度比较高，横梁上部和硅棒下部温度低，可以通过控制气量和分布减少温差

guafa58 发表于 2010-8-9 22:28:00

不错啊，学习了，呵呵，

Dreamer2012 发表于 2010-8-10 10:23:01

学习了，谢谢
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ustbwht 发表于 2010-8-10 11:03:16

应该是很正常的啊

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