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还原炉硅棒温度上下不一样,是什么原因?

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发表于 2010-8-6 08:38:05 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近我们提高了进气量后,硅棒温度上下不一样,下部温度平均比上部能高30度,大家遇到过类似的问题没有?
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发表于 2010-8-6 12:34:32 | 显示全部楼层
很正常,因为提高反应料量以后,横梁部分可以得到充分的物料,炉内的气场是从内圈上去由上而下,是湍流状态,因此硅棒的下部温度明显高于上部温度,这个不用担心,只有在操作过程中注意及时增补电流,防止过大的温差造成倒棒就可以了。
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发表于 2010-8-6 13:20:39 | 显示全部楼层
有道理,我赞成楼上所说的,按理说硅棒上部应该比下部温度高,但因为提高反应料量造成下部比上部温度高,说明进料上部较多,吸收了上部的热量。
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发表于 2010-8-6 17:29:51 | 显示全部楼层
我认为这个问题可以从工艺上解决  减小硅棒上部与下部的温度差  特别是大型还原炉内圈与外圈的温度梯度
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发表于 2010-8-7 10:33:46 | 显示全部楼层
看来楼上的都是多晶硅行业人士,佩服!
个人认为应该注意硅棒整体形状防止在生长过程出现畸形,甚至倒棒
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发表于 2010-8-7 20:43:55 | 显示全部楼层
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发表于 2010-8-9 16:50:46 | 显示全部楼层
硅棒上下温差如上所述是正常的,中部区和横梁下部温度比较高,横梁上部和硅棒下部温度低,可以通过控制气量和分布减少温差
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发表于 2010-8-9 22:28:00 | 显示全部楼层
不错啊,学习了,呵呵,
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发表于 2010-8-10 10:23:01 | 显示全部楼层
学习了,谢谢

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发表于 2010-8-10 11:03:16 | 显示全部楼层
应该是很正常的啊
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