爆米花,生长裂缝的形成原因分析?
请问各位高手,硅棒表面的爆米花是怎么样形成的,通过控制TCS和H2的相关参数能有效的控制么?生长裂纹一般是在爆米花严重的地方出现,他的形成原因是什么?一般不是和混合气流量有很大关系。最主要的*棒长到80以后的电流控制问题。电流过大时硅棒表面温度过高,会产生局部表面沸腾现象,所以出现爆米花现象。 表面沸腾是个什么过程,还请楼主指教?? 回复 3# 化工人士
温度高,晶体形核速度大于晶体长大速度 表面沸腾是什么意思? 温度有个范围值,高了或者低了都有可能产生爆米花,不过大部分都是温度过高产生的 表面沸腾?怎么一回事啊? 期待更多的专家点评 进气按标准曲线调整,不要太大波动
电流也要按规定加
设计院没给你们操作章程么
另外考虑加喷嘴 主要在哪个位置出现
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