龙城 发表于 2010-7-24 15:48:46

有的资料说,主要是由于H2与三氯氢硅的摩尔比值引起的,比值低,生长的致密。比值高,生长的疏松,就容易生长爆米花。这样说有道理吗?

wulffor 发表于 2010-7-24 20:32:56

个人感觉
温度是主要原因

帅得掉渣 发表于 2010-7-24 20:40:28

这个确实是温度的原因,分阴面和阳面的关系。靠炉心一面温度高会出现这样的情况,壁面温度低一般要光滑。

wudaofengz 发表于 2010-7-29 17:35:28

回复 2# moon524
硅棒表面局部沸腾现象,可以说具体点吗?谢谢

beijiguang 发表于 2010-8-25 15:05:41

这个主要是炉内温度控制不好引起的,硅棒径向温度差异大是很容易引起裂棒。玉米状也是因局部温度过高引起的。通常是硅棒的顶部温度较高!

morn0527 发表于 2010-8-25 18:03:22

爆米花是出现在硅棒中上部还是阴阳面
温度过高,与料量和电流都是有关系的,尤其是中上部爆米花过多,是料量无法达到硅棒的高度,局部过热,一般根部和靠近炉筒的 一面出现的少,根部是因为料量较充足,靠近炉筒壁的温度较低,但靠近炉筒壁的一面往往涨的慢

wtuvfhpl 发表于 2010-8-26 01:54:36

这个正常,上面夹角地方电阻比较大所以通过的电流较多,加上炉内的料流动很难充分达到上面,所以就产生了这种情况。两种方法一是低温生产,二是让料上去。

jokee001 发表于 2010-9-13 08:12:56

加大氢气流量还有

luoye888 发表于 2010-9-14 16:10:22

你的TCS纯度和质量有问题

白忠辉 发表于 2010-9-15 15:59:08

我们实验的结果是和氢气中的氯化氢含量有一定的关系,氢气中混杂的氯化氢会对硅棒造成腐蚀
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