大海深处 发表于 2010-12-21 23:35:04

三氯氢硅合成炉烧坏？合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏，知道是什么原因造成的吗？赐教！

合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏，知道是什么原因造成的吗？赐教！

qhzhgod 发表于 2010-12-22 10:17:59

不是因为过氯的原因导致的，是你用的硅粉没有干燥的很好，硅粉含水量偏高。还有可能是你硅粉在分布板上分布不均匀，产生了局部过热，这种情况影响相对较小。

洛水长流 发表于 2010-12-22 19:38:42

同意上面的说法，也可能HCl里面含水量高

xiaoshimin215 发表于 2010-12-23 10:20:48

我个人认为是HCL流量低引起的

大海深处 发表于 2010-12-23 13:45:00

回复 2# qhzhgod
    局部过热有可能，但是我的HCL通量不小就不应该沸腾不好啊，而且合成液纯度还能到80~85%。

大海深处 发表于 2010-12-23 13:47:04

回复 3# 洛水长流
    HCL的含水量肯定没有问题，因为我的原料气露点都是很好的，开车到现在HCL合成炉都没有出现过冷凝酸的。

谭寅 发表于 2011-1-1 21:11:36

氢气里面也含有一定的水分，还有，停车后炉内还有残存的气体，冷却后会产生酸存留在灯头里，刚开车升温的时候就会造成灯头损坏

谭寅 发表于 2011-1-1 21:11:44

氢气里面也含有一定的水分，还有，停车后炉内还有残存的气体，冷却后会产生酸存留在灯头里，刚开车升温的时候就会造成灯头损坏

大海深处 发表于 2011-1-2 17:15:53

回复 8# 谭寅
    我是指三氯氢硅合成炉的喷嘴被烧坏，不是HCL合成炉的，不过就算有冷凝酸应该也不会造成灯头损坏吧，我们的冷凝酸只有在开车时氢气跟氧燃烧后才会有冷凝酸产生，我们的原料气都是控制在100PPM以内的。

abcsxg 发表于 2011-1-3 11:27:08

1.过氯然烧
2.流量低
3.材质问题
页: [1] 2
查看完整版本: 三氯氢硅合成炉烧坏？合成炉的喷嘴在HCL没有过氯的情况下为什么还会烧坏，知道是什么原因造成的吗？赐教！