一、TCS合成炉有喷嘴?
二、TCS合成炉需要过氯?
感觉又是在说HCL合成炉,好像又是在说TCS合成炉,到底在说那个嘛? HCL含水高
流量低
停车没吹氮气 回复 13# hxm8561
请问HCL流量低TCS合成炉的温度会出现什么现象?因为我觉得我们的炉子通量还比较高吧。 主要原因是氯化氢流量低,可能是后边起压了氯化氢通量少了,
也可能是开车时炉内硅粉没吹起来。局部超温,这个从合成炉控制曲线可以看出来
还有就是材质问题了 HCL流量低,会使硅粉在分布盘上反应较多,造成底部温度很高,从而造成喷嘴烧坏 硅粉在流化床上分布不均匀,造成局部反应放热温度过高,这要用热氮气把硅粉吹浮使其均匀与氯化氢反映
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