还原炉雾化如何控制
后期温度高,配比低容易雾化,雾化后炉内温度很高,如何把温度降下来?料量如何控制,是提高配比还是同配比降料?建议你在后期的时候,或者在供料表最后两次进料表中,把配比适当的提高点,不要降混合气。配比提高后,要注意温度,不要太高了。 回复 2# 人有傲气
到后期需要提高的是三氯氢硅含量还是氢气的含量? 后期加入一定量的氢气 回复 2# 人有傲气
不降混合气量,炉内温度很高,很容易雾化加重。。。 看你雾化的程度怎么样了... 回复 5# yuan小俊
为什么温度高雾化会加重? 咱们首先分析一下,雾化是怎么回事,据我理解雾化是有液态料进入还原炉,液态料进入会在还原炉内,不是在硅棒表面,反应生成无定形硅,如果是这样的话,我们就应该提高配比,通入氢气,有必要的话还应该降些料
我把砖抛出来了,静待大家的玉 为什么温度高雾化加重我也不是太清楚原因,温度高应该反应很剧烈,这个是实践经验。。。 降料 棒温高的降电流 降料降多少自己摸索 控制雾化力度要大 不要挠痒痒
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