还原炉雾化如何控制

发表于 2011-4-21 03:28:57

后期温度高，配比低容易雾化，雾化后炉内温度很高，如何把温度降下来？料量如何控制，是提高配比还是同配比降料？

发表于 2011-4-21 09:46:10

建议你在后期的时候，或者在供料表最后两次进料表中，把配比适当的提高点，不要降混合气。配比提高后，要注意温度，不要太高了。

发表于 2011-4-21 09:54:46

回复 2# 人有傲气
到后期需要提高的是三氯氢硅含量还是氢气的含量？

发表于 2011-4-21 15:38:07

后期加入一定量的氢气

发表于 2011-4-21 17:48:36

回复 2# 人有傲气
不降混合气量，炉内温度很高，很容易雾化加重。。。

发表于 2011-4-24 09:15:14

看你雾化的程度怎么样了...

发表于 2011-4-24 15:15:18

回复 5# yuan小俊
为什么温度高雾化会加重？

发表于 2011-4-24 20:12:44

咱们首先分析一下，雾化是怎么回事，据我理解雾化是有液态料进入还原炉，液态料进入会在还原炉内，不是在硅棒表面，反应生成无定形硅，如果是这样的话，我们就应该提高配比，通入氢气，有必要的话还应该降些料
我把砖抛出来了，静待大家的玉

发表于 2011-4-28 20:13:48

为什么温度高雾化加重我也不是太清楚原因，温度高应该反应很剧烈，这个是实践经验。。。

发表于 2011-5-2 17:14:58

降料棒温高的降电流降料降多少自己摸索控制雾化力度要大不要挠痒痒

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