332884531 发表于 2011-5-2 18:07:13

我们降三氯氢硅量 提氢气量适当降低电流

B区汇流排 发表于 2011-5-3 09:58:55

后期温度应该适当降低,同配比降料应该是比较理想的生长环境,考虑到炉内空间减少,硅棒占用气体混合空间,密度变大,气体流向受硅棒影响,使硅棒表面形成气体边界,气体分布不均,造成温度失衡,加重雾化反应。

B区汇流排 发表于 2011-5-3 10:02:45

回复 11# 332884531
    这样做可以达到简单统一,容易操作。但后期横梁容易黯淡,夹角温高熔断,自动跳闸。

king拼搏 发表于 2011-5-3 20:31:25

回复 1# yuan小俊
    原因很简单,进料温度太低,摩尔比控制应该在0.3    H2是过量的,TCS进料量太大,温度上不去!

sanmily 发表于 2011-5-9 16:03:43

后期温度高,三氯氢硅料量大,在气场空间中就反应了,首先应降电流降低电耗,其次降料,提高配比,实在雾化严重就开氢气调配比!~

走走看看~ 发表于 2011-5-10 14:30:02

回复 15# sanmily
    说的没错,主要就是那几部。我们这边汽化器是混合后进料,所以还得调汽化器温度、压力。
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