爆米花的产生原因
有杂质了,进料管堵了 本帖最后由 g351728301 于 2011-6-7 00:36 编辑如果进料管堵了 那TCS应该不能进炉子 那么硅棒就不会生长了吧· 而且发生这个现象时候STC H2 流量都正常的 电流电压也没波动 STC?H2?
四氯化硅生产多晶硅的路子? 个人认为一个物料的杂质问题,一个是温度问题吧! 你说的异常是啥情况? 雾化物料进入导致STC、和无定型硅的产生,气场循环改变加之炉内温度控制较高腐蚀及低温反映同时存在导致 貌似是瑞能的?刚看的别的帖子里面的图片,很熟悉。 进还原炉前,在管道里的温度达到了无定型硅产生条件,产生的无定型硅随气流进入炉内,附着在硅棒表面 请教一下楼上“在管道里的温度达到了无定型硅产生条件”,你们的进料温度是多少,气化方式是怎样的? 杂质,纯粹的杂质,除了管道内污染,还有可能是炉体污染了,突出抓一下装炉的质量
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