爆米花的产生原因

发表于 2011-6-6 21:00:35

有杂质了，进料管堵了

发表于 2011-6-6 21:05:14

本帖最后由 g351728301 于 2011-6-7 00:36 编辑
如果进料管堵了那TCS应该不能进炉子那么硅棒就不会生长了吧· 而且发生这个现象时候STC H2 流量都正常的电流电压也没波动

发表于 2011-6-6 22:07:31

STC？H2?
四氯化硅生产多晶硅的路子？

发表于 2011-6-7 09:24:51

个人认为一个物料的杂质问题，一个是温度问题吧！

发表于 2011-6-7 09:51:22

你说的异常是啥情况？

发表于 2011-6-7 11:49:09

雾化物料进入导致STC、和无定型硅的产生，气场循环改变加之炉内温度控制较高腐蚀及低温反映同时存在导致

发表于 2011-6-8 13:43:14

貌似是瑞能的？刚看的别的帖子里面的图片，很熟悉。

发表于 2011-6-9 11:01:50

进还原炉前，在管道里的温度达到了无定型硅产生条件，产生的无定型硅随气流进入炉内，附着在硅棒表面

发表于 2011-6-9 11:28:52

请教一下楼上“在管道里的温度达到了无定型硅产生条件”，你们的进料温度是多少，气化方式是怎样的？

发表于 2011-6-9 20:19:38

杂质，纯粹的杂质，除了管道内污染，还有可能是炉体污染了，突出抓一下装炉的质量

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