350664009
发表于 2011-6-9 20:23:59
配比大了 炉内温度高长的不定型硅
苍月
发表于 2011-6-10 10:59:29
温度过高了，紧急停炉是硅棒与氮气反应了吧
zhangtian04314
发表于 2011-6-10 11:59:59
回复 1# g351728301
主要是温度的原因，一般叫做温度夹层。
小君无邪
发表于 2011-6-11 21:21:01
跟进料情况和温度有关.把温度提高.氢气量加大.慢慢就消失啦...
xuzhengwei
发表于 2011-6-12 10:51:35
回复 13# 苍月
见过氮化硅是什么样的吗？ 这也能说的出来 请不要误导我们年轻人哈
yihuan0905
发表于 2011-6-20 11:06:28
针形硅，别名蚂蚁上树
ourlive
发表于 2011-6-22 23:10:19
17楼高见。 有道理，怎么形成的呢？
飞鸿踏雪泥
发表于 2011-6-23 17:27:02
1、可能是配比问题，混合器不稳定，出气口雾沫夹带入炉内液态三氯氢硅
2、尾气反串，包括还原尾气和放空尾气，可以查DCS压力波动记录。这个可能性最大。
ourlive
发表于 2011-6-23 23:11:52
19楼敢不敢给我邮件联系方式？高见啊。
jjb4598083
发表于 2011-6-24 19:18:20
先雾化后夹层呗这个一看就是了 这种情况都不停炉 服了Y乘早停炉上面的绒毛是可以刷掉的 不要等到在上面沉积硅了在弄 那样就晚了