源乐乐
发表于 2011-7-20 15:25:58
还原配比的控制
请问高手，还原系统的气液分离器是如何控制氢气和三氯氢硅的配比的？
wyc6880
发表于 2011-7-20 15:45:03
气液分离器？？？
pengchuan
发表于 2011-7-20 18:27:50
来新光，我告诉你！
liuhuan889396
发表于 2011-7-20 20:15:21
用温度、压力和气体流量共同控制
ourlive
发表于 2011-7-20 21:55:16
气液分离器这也太老旧了吧？》俄罗斯60年代工艺？
源乐乐
发表于 2011-7-22 16:25:40
回复 4# liuhuan889396
我知道这几个参数，可具体怎么来控制的，我不太清楚，能不能具体点
源乐乐
发表于 2011-7-22 16:27:14
回复 3# pengchuan
新光的有怎么啦，只是比我们早两年接触多晶硅，不要把自己看的太高，也就那样
liuhuan889396
发表于 2011-7-22 17:24:42
这个可是保密的啊，不能讲的
butingdeyu
发表于 2011-7-23 08:34:32
汗一个，我们没用到汽液分离器。你们用的什么方法啊。
hyjsy
发表于 2011-7-23 10:59:32
回复 1# 源乐乐
通过水温、氢气流量控制、