pengchuan 发表于 2011-7-24 09:58:12

新光，用这个是权威，老牛啦
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ourlive 发表于 2011-7-25 00:00:38

气液混合器的混合方法，通过调节热水的流量，也就是升高液体三氯氢硅的温度跟氢气的流量来达到配比，一套炉子配一个混合器的话能达到控制配比的作用，但是如果是同时供气给几个还原炉那最好控制配比为3：1.此配比能通过混合器温度计算三氯氢硅分压得出，也可有进入的瞬时三氯氢硅量与氢气量估算出。

cammy166 发表于 2011-7-25 15:19:35

我知道这几个参数，可具体怎么来控制的，我不太清楚，能不能具体点

源乐乐 发表于 2011-7-27 16:28:25

回复 8# liuhuan889396
   
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这也不能说，又不是好机密的东西

源乐乐 发表于 2011-7-27 16:30:13

回复 12# ourlive
哦，明白了点
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    谢谢！
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