还原配比的控制

发表于 2011-7-20 15:25:58

请问高手，还原系统的气液分离器是如何控制氢气和三氯氢硅的配比的？

发表于 2011-7-20 15:45:03

气液分离器？？？

发表于 2011-7-20 18:27:50

来新光，我告诉你！

发表于 2011-7-20 20:15:21

用温度、压力和气体流量共同控制

发表于 2011-7-20 21:55:16

气液分离器这也太老旧了吧？》俄罗斯60年代工艺？

发表于 2011-7-22 16:25:40

回复 4# liuhuan889396
我知道这几个参数，可具体怎么来控制的，我不太清楚，能不能具体点

发表于 2011-7-22 16:27:14

回复 3# pengchuan
新光的有怎么啦，只是比我们早两年接触多晶硅，不要把自己看的太高，也就那样

发表于 2011-7-22 17:24:42

这个可是保密的啊，不能讲的

发表于 2011-7-23 08:34:32

汗一个，我们没用到汽液分离器。你们用的什么方法啊。

发表于 2011-7-23 10:59:32

回复 1# 源乐乐
通过水温、氢气流量控制、

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