讨论国内现在各个多晶硅公司 还原炉的压力 欢迎大家踊跃盖楼
6公斤,90小时4吨左右一炉,24对硅棒!至于硅棒是否粗糙取决于你们的工艺参数!本帖最后由 jindin312 于 2011-3-16 17:43 编辑
现在国内的还原炉正常生产的压力是多少?过去听朋友讲过是3公斤。据说压力越高,多晶硅沉积的效果会更快更好,是吗 其实跟炉内温度的关系更大温度决定因素更大更有效!! 压力大的话危险性也比较大,压力比较高的话密封垫圈老是被挤压出来,有可能导致泄漏。 现在主要用的是常压生产,压力约0.08MPa。
加压生产主要是混合气密度增加了,自然就把反应加快了,但是这样硅棒上的玉米状就越严重哟。加压法生产缩短了多晶硅生产周期。同时,也增加了设备的要求,也增加了危险系数。现在新修的一些厂甚至用的了0.6MPa,不过还没有投产。 我们厂是0。5MP不过还没投产呵呵 0.5MPa??5个大气压?LS的没搞错吧? 08年以后的基本上是0.6MPaG
早投产了!
80-100小时每炉
12对棒
单炉1.5T以上 设计是6公斤的压力。 常压、3barg、5barg、6barg均有
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