taiyang-hchg 发表于 2009-6-16 09:56:29
的确是0.6公斤压力比较多tao8686886008 发表于 2009-6-17 08:36:42
这就看你们的工艺设计的是高压还是低压了,高压的可达到4公斤。听风惊梦 发表于 2009-6-20 21:40:13
不知道你们用的是那套工艺,如果是改良西门子法的话,是这样的,但从化学平衡的角度看同时又有很多弊端,应该结合实际情况。我们厂现在也在摸索。实际压力没有一个确定的。目前还是在3公斤比较好。南希 发表于 2009-6-27 21:04:34
目前高压启动是主流啊,大概就是5-8公斤。TanKsppp 发表于 2009-6-27 22:58:33
至今还没接触到常压生产的炉子,有哪位朋友有相关知识来学习一下。万分感谢ZQTV99 发表于 2009-6-28 10:19:40
6公斤是最大设计压力,实际生产应该达不到那么高,三公斤是可以的。压力需要和温度配合才能发挥最大效果,确实沉积速度加快了。冲刺2009 发表于 2009-7-7 16:09:55
我们厂用的5公斤压力。现在运行的不错多晶硅精馏 发表于 2009-7-8 21:32:05
高压,适当的温度增加了沉积速度,但是影响了多晶硅的外形,会出菜花状、珊瑚状,控制不好生成了二氯二氢硅的量较多,这样还要增加设备来处理二氯二氢硅,二氯二氢硅太危险了忧郁小精灵 发表于 2009-7-9 02:52:19
6公斤的压力生产的企业现在有很多哦,12对棒和18对棒的炉子在高压的情况下产量能达到1.8t和2.8t左右summerday 发表于 2011-3-16 20:53:40
我们的是4公斤,运行的不错,运行100小时,单炉1.9t以上
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