多晶硅铸锭炉
想知道多晶硅铸锭炉的工作原理以及结构方面的知识!请教大家了用感应电炉如何! 首先把硅料(多为原硅料)装在坩埚中,坩埚材质为高纯二氧化硅,然后把坩埚放入铸锭炉内,早期的铸锭炉为HEM炉,现在的为DSS炉,铸锭炉用电加热,铸锭炉的电极使用石墨材质。在炉内加热到1540度左右,使坩埚内的多晶硅融化,然后再逐步降温,冷却,到最后出炉。其中从装炉到出炉分为几个阶段,分别是 加热、融化、生长、退火和冷却。最后出炉的温度为240-300度之间。 这一过程可以将硅料中的杂质分离到最后成品的表面,使晶体结构重新排列,也是后期切片制作太阳能电池板的前提。
铸锭炉的结构主要分为炉体、电极、真空泵、变压器、配电箱、冷却水系统、控制系统等几个方面。
我就知道这么多了,希望对你有所帮助。 冷却水系统的降温,我们做得很专业! 多晶硅铸锭设备根据原理不同分成好几种,从HEM(热交换法)到DSS(定向凝固法),再到电磁铸锭法,不同公司各有侧重。当前市场上的主流厂家有美国的GT、德国的ALD,此外法国的ECM、日本的Ferrotec,还有国内的精功、JYT的设备都可以看看。附件是我前段时间找到的一些文献,希望对你有些帮助。
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多晶硅的铸锭! 最重要看硅芯的温度控制了! 非常感谢各位啊!非常感谢! 多晶硅的铸锭! 最重要看硅芯的温度控制了!
小梅小华 发表于 2009-6-2 14:56
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铸锭没有硅芯,呵呵 学习学习 8# tony1224 学习学习
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