多晶硅铸锭炉

想知道多晶硅铸锭炉的工作原理以及结构方面的知识！请教大家了

用感应电炉如何！

首先把硅料（多为原硅料）装在坩埚中，坩埚材质为高纯二氧化硅，然后把坩埚放入铸锭炉内，早期的铸锭炉为HEM炉，现在的为DSS炉，铸锭炉用电加热，铸锭炉的电极使用石墨材质。在炉内加热到1540度左右，使坩埚内的多晶硅融化，然后再逐步降温，冷却，到最后出炉。其中从装炉到出炉分为几个阶段，分别是 加热、融化、生长、退火和冷却。最后出炉的温度为240-300度之间。 这一过程可以将硅料中的杂质分离到最后成品的表面，使晶体结构重新排列，也是后期切片制作太阳能电池板的前提。
铸锭炉的结构主要分为炉体、电极、真空泵、变压器、配电箱、冷却水系统、控制系统等几个方面。
我就知道这么多了，希望对你有所帮助。

冷却水系统的降温，我们做得很专业！

多晶硅铸锭设备根据原理不同分成好几种，从HEM（热交换法）到DSS（定向凝固法），再到电磁铸锭法，不同公司各有侧重。当前市场上的主流厂家有美国的GT、德国的ALD，此外法国的ECM、日本的Ferrotec，还有国内的精功、JYT的设备都可以看看。附件是我前段时间找到的一些文献，希望对你有些帮助。

多晶硅的铸锭！ 最重要看硅芯的温度控制了！

非常感谢各位啊！非常感谢！

多晶硅的铸锭！ 最重要看硅芯的温度控制了！
小梅小华 发表于 2009-6-2 14:56

                                
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铸锭没有硅芯，呵呵

学习学习 8# tony1224

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