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多晶硅还原炉的硅棒倒伏

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发表于 2008-11-6 14:44:12 | 显示全部楼层
硅芯的粗细有要求,不能特别粗,否则难击穿,也不能太细,否则易断裂倒伏;硅芯的安装需要一定的技巧,一定要特别小心,因为硅芯很脆,易断裂;另外,对击穿电压也有严格的要求,而且电压要稳定。
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发表于 2008-11-6 20:59:13 | 显示全部楼层
回复11楼
硅芯粗了电阻率小容易击穿
倒棒原因很多
1、前期倒棒很多是因为石墨卡瓣质量不过关、硅芯装的不直、电流加的太快熔断、横梁搭接不好
2、运行中倒棒很多时候是与工艺和还原炉设计有关,如运行过程中温度控制不好,混合气进料控制不好,还有就是炉筒水温控制不好导致硅棒外圈偏向里面生长而导致重心偏移
3、硅棒太长也容易倒棒,国内一般都不超过2.5m
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发表于 2008-11-8 20:41:18 | 显示全部楼层
我认为,造成硅棒倒伏的问题中,象上述各位大虾说的原因,有很多我们可以很容易的解决,比如说电流问题,原始硅棒的安装问题等等,我认为 造成倒伏的很关键的因素是进入还原炉的三氯氢硅或者硅烷气体分布不均造成的,归根结底是在于还原炉的结构问题,进气分布不均匀,造成硅棒的生长速度不均匀,上下硅棒粗细不一致,从而造成倒伏问题。个人己见,大家讨论讨论。
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发表于 2008-11-10 10:52:43 | 显示全部楼层
很不错的一个帖子,学习了,希望多出这样的细节讨论,对我们这些新人很有用
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发表于 2008-11-18 17:15:55 | 显示全部楼层
也许你说的才是主要原因
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发表于 2008-11-20 16:56:43 | 显示全部楼层
以上的説法都有道理,但不是真正的主要原因。
目前,国内在调试的多晶硅炉大多开不起来的主要原因都是
倒棒。原因有上面的各位楼主説的,但是主要的是:启动是高压产生的磁场不平衡,
加上进料的速度和阀门的流量曲线与硅棒的震动不能互消。
炉内的磁场主要由炉子决定,也就是由厂家的生产设备的技术研究水平决定的。
同情各位在生产和管理岗位的同仁。
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发表于 2008-11-21 15:09:32 | 显示全部楼层
我设计了直径3000mm的炉子,72对棒,芯棒长3500mm,从不倒伏。
别忘发短消息
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发表于 2008-11-21 15:15:16 | 显示全部楼层
最常见的是硅芯没装好而导致倒棒的问题吧
PS:楼上的是真的吗
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发表于 2008-11-21 20:13:29 | 显示全部楼层
硅棒发生到状,当然和硅芯的安装有关系,但我认为他不是主要的原因,
1,电流没有控制好,如电流控制不好可能使硅芯局部发生融化,或者局部温度太高,而使硅棒生长不均匀而发生倒塌。
2,气流气速控制不稳定,在初始阶段气流气速太大会吹到硅芯。
3,在生长中要不断的调整电压电流,在设计中要选用合理的电源控制装置。随着硅棒直径的增长电流不断的上升,电压下降。
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发表于 2008-11-22 10:19:20 | 显示全部楼层
硅芯棒布置有关系,也就是磁场力要得到平衡
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