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多晶硅还原炉的硅棒倒伏

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发表于 2008-9-15 17:25:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
关于防范还原炉中的硅棒倒伏问题,希望同业朋友各自发表下自己的见解。
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发表于 2008-10-1 02:55:30 | 显示全部楼层
我认为炉内的气体比例和载体的电压恒定以及流速是关键.
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发表于 2008-10-15 17:23:06 | 显示全部楼层
个人认为电压应当适时调整
其他同意
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发表于 2008-10-25 19:54:01 | 显示全部楼层
主要因素是装硅芯的问题
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发表于 2008-11-2 13:47:55 | 显示全部楼层
倒棒的原因有很多
1、刚启动时电流过大,根部发软。
2、硅芯倾斜
3、进料时通料过猛,硅芯吹歪
4、硅芯粗细不均匀,细的地方烧熔
温度高的原因有电流大、进料少、根部接触不好,打火等。
要防止倒棒,最根本的措施就是严格控制温度,不要超过1150度
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发表于 2008-11-3 15:15:15 | 显示全部楼层
同意楼上的说法,但还有i
硅芯和横梁搭接问题值得关注。。。。
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发表于 2008-11-3 17:43:53 | 显示全部楼层
关键还是装炉工的水平
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发表于 2008-11-3 18:05:36 | 显示全部楼层
希望高人多加讨论!我需要多了解这方面的信息!呵呵!
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发表于 2008-11-4 20:59:47 | 显示全部楼层
硅芯的安装和嵌位应在初始的时候应安装好。
电压当然是实施调整的,但不可过频。
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发表于 2008-11-5 16:16:49 | 显示全部楼层
我知道有个单位的也倒了,希望高人多加讨论!我也需要多了解这方面的信息!
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