多晶硅生产工艺中仪表的密封问题

我公司设计生产的化工仪表，在用于多晶硅生产中出现了泄露，我们用的密封圈现在用的有以下一种材质，氟橡胶，Kalrez，EPDM,这几种，不是很了解多晶硅生产的介质环境，所以选用密封材质时拿不太准
不知论坛中是否有做多晶硅的技术人员，或者是高分子材料的人员能否给予解答，不胜感激！

建议用硅胶试试