LED 衬底蓝宝石用高纯氧化铝工艺情报交流

LED 衬底蓝宝石用高纯氧化铝工艺情报交流—3
氧化铝晶体导报    工艺情报交流
记者  李博民
高工
2011-10-20
长LED蓝宝石的5N 氧化铝 ，铁必须小于5pp， 硅小于5pp， 锆小于1pp ，钛小于1pp，铜小于1ppm，镍小于1pp，钇、镓，铅、 钾、钠小于1ppm 否则不能用。

4个9的氧化铝虽然可以长出晶体，但是由于不是5n氧化铝，晶体晶棒质量就差一些。

有的长出晶体就透明度不好，不很白，易有粉色、黄色等颜色不纯。

有的即使长出较白的透明晶棒，但由于纯度不够，杂质较多，晶体存在晶格缺陷，位错大于1000，造成外延加工时候镀砷化镓晶格位错不准，做出的芯片后LED不发光，或发光率低，造成下游客户没法用。进而后期进而退货影响到晶棒的销售和认可和产品质量长久信誉。 好的晶棒做出的片、做出芯片翻发光率高于于90% 。有的厂家只有30% ，醇铝法作出的晶棒所做的芯片发光率可达90%以上。 所以并不是长出晶棒就可以了，还要镀上砷化镓后看位错数量、晶格是否匹配，看反光率亮度指标才是最关键。才能为晶棒的长期销售做个好头开个好基础。多个公司、研究机构使用VK-L100KG,
VK-100G高纯氧化铝粉、粒料，都长出了优质大尺寸蓝宝石晶体 。VK-L100KG,
VK-100G氧化铝纯度达到99.999%；高纯氧化铝长出的晶体位错率小于300，晶体合格率大于90%，使用率大于80%才是好的5n氧化铝原料，否则达不到质量经济指标。

长LED蓝宝石的高纯氧化铝要纯度高99.998%是最少的要求、长晶体过程中不能有泡、要白。长出的晶体位错、晶格要匹配，否则没用，只能做工业宝石。不发光。卖不出价格。

1kg真正的5n氧化铝高纯粉是长出好的晶体的不可缺的条件。1公斤粉体长出的1kg晶棒晶体可以卖1.万-3万。 如果晶体不是真正的5n粉长出的晶体不好，根本不值钱，或者作为工业宝石、小宝石销售，工业宝石晶体也就卖400--9000元每kg。可见原材料好坏带来的收入差异之大。 关键在于原料的选择和工艺。

市场上有些公司拿着4个9，甚至3个9的氧化铝冒充5个9氧化铝低价给长晶企业，也能长出晶体，大家就满意了。结果晶体质量差，最后成品率极低，位错大于几千，做的发光率极低，长晶企业白白浪费了很多资金、电费、时间。

所以样品拿到后应马上送到相关检验，检验产品纯度。5n氧化铝的纯度至少要达到99.998%，这个是长出合格晶体的起码保证。

长蓝宝石衬底要用5个9氧化铝原料。 不能用4个9氧化铝块。用4个9烧的烧的晶体长不出优质的蓝宝石。因为无机杂质的是烧不掉的。

有的客户用4n粉或者3n氧化铝粉去用氢气氧气烧成晶体，虽然融化后就晶体密度大了，看上去透明了，但是杂质都是无机的铁、硅、钠、钾、铜、镍、钛等是烧不掉的，杂质含量根本不会下降，说不定再烧的过程中气体、设备重新引入新的杂质进去了。纯的更低了。这个就是国内晶棒质量不好比国外合格率低很多的原因。

实际都是融化用的料是不是晶体都没关系，最终都要融化，重要的5n氧化铝的纯度杂质含量是不是真达标。

国内外高纯氧化铝供应商玉龙混杂，质量差别很大，价格差别很大， 我们长晶企业要谨慎选择供应商，以免造成后面的被动和损失。