多晶硅生产过程中的有害物的处理

生产 1000 吨多晶硅会有三氯氢硅3500 吨、四氯化硅 4500吨废液产生，而未经处理回收的三氯氢硅、四氯化硅是一种有毒的液体，环境污染极为严重。发达国家所建的多晶硅提纯项目，都包括建立有毒气体、液体的回收系统。
有没有谁接触过多晶硅的生产，所产生的有害物，是如何处理的，对工人的防护是如何做的？
在设备检查过程中，所残留的有害物，是如何处理和防护的？

新建多晶硅项目一般都有自己的反应物循环利用系统，只是成本相对较高而已！三氯氢硅一般通过精馏直接使用，四氯化硅提纯后再送到氯化区域生产三氯氢硅。设备较多，控制较复杂。当然每家工艺不同处理方法也不尽相同！

四氯化硅应该上氢化装置，虽然转化率较低，但是一直将四氯化硅打循环，不排放即可。当然这样必然会限制产能的释放，所以国内相关企业和设计院都正在努力提高四氯化硅的氢化效率。不过目前还没有什么突破性进展

感谢“小煤球”的答复，看你的资料，专业是“多晶硅”，我现在也在学习，希望多交流！

大家共同学习，共同进步