多晶硅VLD

上传一点个人的资料，供大家分享

谢谢分享！这只是一个简单的流程图，在实际工作中一点用处都没有。现在在我们国家很多多晶硅生产厂家采用的是对外采购SIHCL3，外销SICL4，主要原因是他们采用的不是循环利用工艺，这样在生产过程中对SICL4的处理就显的尤为重要，常常因为产生了太多的SICL4无法处理而影响了正常生产，甚至对环境造成很大污染。工艺描述都很简单，但要把它集成一个系统则是非常困难的。

关于VLD的工艺方面，
不知道楼主有没有详细的资料？