多晶硅生产中如何控制还原炉内氧含量不超标!

我想问问大家,你们在生产中是如何控制还原炉内氧含量不超标!

在整个反应过程之前，就要通过氮气吹扫，氢气吹扫等几个步骤，但是在整个过程中都要保证，管道和炉内对外是微正压，反应前还要检测炉体的氧气含量小于0.1%。

还原炉内氧含量超标?要么是你的物料处理系统有问题，要么是的氢气系统有问题。