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多晶硅生产中氢硅比是多少?为什么

发表于 2008-12-29 21:41:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

西门子法生产多晶硅中还原炉中通入的氢硅比是多少?为什么?
请专家解答

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发表于 2008-12-30 09:10:16 | 显示全部楼层

我们原来的厂子设计的是氢气与三氯氢硅的进混合器的比例是10：1！
具体原因不知道！

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发表于 2008-12-30 10:13:32 | 显示全部楼层

根据你的具体生产情况可能有不同配比，大体在10：1到7：1间。

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发表于 2008-12-30 14:35:41 | 显示全部楼层

氢硅比主要是控制硅的沉积速率的，硅沉积的速率是必须控制的，不能太快也不能太慢。

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