三氯氢硅管线堵都有那些原因

发表于 2009-1-2 22:24:43 | 显示全部楼层

主要应该是降低进入三氯氢硅沸腾炉氯化氢的含水量，和适量的控制管线长度，在沸腾炉与过滤器之间的管线要经常用氮气吹
[ 本帖最后由 limingshuguang 于 2009-1-3 17:01 编辑 ]

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