氮气在多晶硅生产中的应用

实际使用最多的是置换气，其次是管道内的搽洗，吹扫。以及气动仪表和阀门的动力气。
其次也作为其他气体的保护气。作为炉子的置换气居多一些。
建议严格按照厂方提供的指标来做。不然后期达不到标准，会被买方骂死甚至引来官司，因为氮气纯度和其含量直接影响各个工艺环节的安全和品质。
[ 本帖最后由 happyfatboys 于 2009-1-22 09:22 编辑 ]

在加硅粉的过程中，需要加氮气保护，还能起输送作用

防止氮气中的水与TCS发生反应

原帖由 5izw 于 2009-1-15 09:25 发表
                                
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氮气就一安全气，主要作用如楼上所讲，多晶硅的物料系统不能有氮气的，影响质量，压料除外
胡扯！ 你如果是我公司的，我先开的就是你！
氮气是保护气。任何涉及的管线和物料地方都要用到氮气。
小到保护产品，大到保护设备，吹扫，搽洗，以及各种控制都用氮气。
没氮气你连国标设计都达不到。

多晶硅中氮气主要用于打压检漏装置，开车时管道置换，炉内进氢气或其他气体时排除空气，封压，等以及安全事故的处理

小弟请教各位高手,,,在多晶硅生产中哪些环节需要用到氮气?大概的用量有多少?对氮气的纯度和压力有什么要求?一般制氮设备是采用深冷空分还是用PSA制氮机?在这叩谢各位的解答!!!!

在多晶硅还原工序应用为装好硅芯后要先用氮气置换后改用氢气置换，然后起炉；硅棒长好后要用氢气置换后再用氮气置换才能出炉，氮气的作用是很大的哦，

主要用于置换,开炉停炉都要用,使用比较频繁

看来氮气作用确实很大啊,,,,,不知道各位DX遇到的制氮设备主要是深冷的多还是PSA的多?是不是用哪种方式和对应的多晶硅产能大小有关系啊

氮气用途在多晶硅工艺中非常的广泛，主要是置换和保压作用。用量不好说，大概1600立方米每小时。纯吨要求在99.999%，既所谓的氮气纯度达5个九。压力在0.6MPa左右。采用的是深冷设备。