求助多晶硅还原炉相关问题

发表于 2008-11-21 15:58:29

请问在整个还原沉积过程中，会发生什么样的反应使何种物质生产粘附在炉桶壁（钟罩）上。当钟罩拆卸后需注意哪些问题，在钟罩上会生产何种物质？万分感谢！

发表于 2009-1-10 23:27:27

会有聚氯硅烷
防止燃烧、爆炸

发表于 2009-1-11 09:08:04

很多时候会出现聚合物附着在钟罩上的，成分很复杂，易水解，产生HCL和H2、SiO2等，下次用时需要清洗。

发表于 2009-1-13 16:26:40

炉筒内壁黄白色粉末为自燃物，是硅棒比较大的时候炉内温度高，气相沉积的产物。炉内也易形成高氯化合物

发表于 2009-1-13 20:03:39

会行成氯硅烷聚合物，很容易燃烧和爆炸，在操作种要特备注意

发表于 2009-2-6 17:45:42

生成硅卤化合物，易燃。

发表于 2009-2-6 19:29:23

那么有没有很好的办法对炉筒进行清洗呢？我们的每次都清洗不干净

发表于 2009-2-7 19:35:54

会有聚氯硅烷

发表于 2009-2-20 17:12:08

会产生聚氯硅烷即硅油的产生，硅油比较危险，遇空气会自燃或爆炸，处理方法是在停炉时减少钟罩冷却水流量，使钟罩温度升高，使硅油分解掉，因为硅油极不稳定，在300度左右就会分解挥发。

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