多晶硅还原生产过程中料的组成问题

原帖由 faded-shadow 于 2009-2-11 20:07 发表
                                
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感谢楼上二位
那么假设极端一些，将混合气换成百分之百的三氯氢硅气体通入到还原炉中对生产会有什么影响呢？
这样的话 如果你用温度控制电流 会死的很惨 短时间内电流迅速升高 棒子熔化
                       若是电流控制 我只知道棒子温度会急剧下降 反应停不了 再进氢气的话会恢复的

氢气比例高则三氯氢硅的转化率比较高，但是沉积速度较慢，

一般控制5：1——8：1，从生长过程来看 低配比三氯氢硅耗量大，转化率低沉积速度快，主要以自身热分解为主，高配比一般用于开区熔料，因为要求表面光滑致密，但是沉积速度很慢就是长得慢了。现在区熔单晶很少了，都是直拉，对表面没什么要求，反正是要打碎的

看来改良西门子很快要完全国产化了，1500t/y产能的生产线投资可能要大幅降低下来了吧！