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国内外多晶硅发展现状

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发表于 2009-2-27 14:22:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
叙述了国内外晶硅的发展概况,讨论了多晶硅生产过程中改良西门子法的几项关键技术,并对我国多晶硅材料的研究提出了几点建议。

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