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变压吸附吸收多晶硅生产尾气的一些操作,原理等资料

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发表于 2008-12-7 18:48:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
有哪位大哥有变压吸附吸收多晶硅生产尾气的一些操作,原理等资料  谢谢啊
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-12 17:28 编辑 ]
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发表于 2008-12-8 08:50:08 | 显示全部楼层
参考煤制氢TSA或PSA吸附!
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发表于 2008-12-8 09:12:56 | 显示全部楼层
就一个PTSA有什么高深的,随便参考下就知道了!@
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发表于 2008-12-8 10:43:21 | 显示全部楼层
多晶硅尾气主要组分是什么啊?
[ 本帖最后由 chc1125 于 2008-12-8 16:23 编辑 ]
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发表于 2008-12-9 15:34:42 | 显示全部楼层
多晶硅尾气主要组分是氯硅烷
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发表于 2008-12-9 15:45:44 | 显示全部楼层
讲讲多晶硅吧,近几年这么火,成达做的都很好了。比如组成,用途,价格等参数
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发表于 2008-12-9 15:58:42 | 显示全部楼层
确切的说
从多晶硅还原炉出来的尾气主要是:
四氯化硅
三氯氢硅
少量二氯氢硅
氯化氢
这些组分大部分闭合自循环使用了。
外排的非常少
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发表于 2009-3-7 23:10:56 | 显示全部楼层
尾气中H2的含量也是比较大的,可不能忽视
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发表于 2009-3-7 23:20:12 | 显示全部楼层
变压吸附主要是进一步纯化还原尾气中分离出来的氢气,让其含有的少量氯硅烷、氯化氢进一步脱除,以达到工艺指标
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