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多晶硅的尾气回收中选择何种吸附剂?

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发表于 2008-8-4 16:07:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
在多晶硅的尾气回收中,尾气中主要是氢气,杂质气体为氯化氢和氯硅烷气体!如果混入了氮气,用什么样的吸附剂不仅对先前的杂质有好的吸附,而且对氮气也有好的吸附哪?据现在一些运行多晶硅工厂反应,由于还原炉中生成了细小的硅粉(没有沉积成多晶硅),随尾气被带到了尾气回收部分,这些硅粉的处理也成为很头疼的问题。大家讨论一下,有什么好的解决办法吗?
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发表于 2008-8-7 10:59:50 | 显示全部楼层
硅粉可以通过收集后重新冶炼使用.如果作为冶炼级别的结晶硅使用也很好.
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发表于 2008-8-9 10:41:49 | 显示全部楼层
目前比较先进的办法不是吸附而是吸收和解析,通过物理的办法也可以将液固分离。
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发表于 2008-8-10 21:22:16 | 显示全部楼层
先吸收和解析,再吸附
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发表于 2008-8-11 08:14:38 | 显示全部楼层
先吸收,后吸附,再解析,这是抄袭的美国某家公司的技术,目前来看比较合理。
至于硅粉颗粒完全可以通过过滤的方式除去,不过采用什么过滤方式就是秘密了,多晶硅行业技术保密的地方太多了
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发表于 2009-1-17 05:29:13 | 显示全部楼层
1、吸附是将氢气与氯硅烷、氯化氢、一氧化碳等分离,不能出去氮气,吸附剂为活性炭。
2、分离固体可采用布袋除尘或全密封过滤器。
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发表于 2009-2-10 13:06:14 | 显示全部楼层
原帖由 wcj3016 于 2008-8-9 10:41 发表
                                
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目前比较先进的办法不是吸附而是吸收和解析,通过物理的办法也可以将液固分离。

敢问楼上是物理的办法的什么方法?
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发表于 2009-3-8 15:33:01 | 显示全部楼层
一般用的是活性炭,选择性好,易再生,使用寿命长(6至7年)
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