大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

干法回收气体含量对还原的影响

[复制链接]
发表于 2009-3-4 15:33:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
干法回收气体中二氯二氢硅含量对还原反应有何影响,包括温度.,沉积速度, 一次转化率,质量等
回复

使用道具 举报

发表于 2009-3-4 16:22:51 | 显示全部楼层
具体影响不知道,但是一般采用CDI工艺的厂家,尾气含有DCS(二氯二氢硅)的应该太会出现哈,一般尾气不纯的时候含微量的HCL的可能性较大。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-3-5 10:57:03 | 显示全部楼层
回收尾气中肯定会有二氯二氢硅,干法回收后送入提纯塔,在干法提纯塔的塔顶会跟着尾气跑掉,有微量跟随产品进入还原,长时间检测以及观察还原炉内生长情况,对其影响不大。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-3-6 15:53:45 | 显示全部楼层
楼主的问题有点模糊,如果刚进入干法回收系统的气体,含有二氯二氢硅很正常,只能从含量多少种确定还原炉的反映情况,干法回收系统末端气体成分中含有二氯二氢硅,那问题都大了,不仅考虑还原炉的影响,更应考虑活性炭吸附塔。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-3-6 17:10:11 | 显示全部楼层
说一下我知道的:还原过程中会产生DCS,DCS也是一种生产多晶硅的原料,而且它的裂解温度比TCS更低(800度左右),国外多晶硅生产企业在精馏过程中是不切出DCS,DCS会跟随TCS一道进入还原已达到自身平衡,国内目前有些企业在还原控制上还有些欠缺,主要是还原炉的压力、温度、电流和进料量以及进料中H和TCS的比例还没有调整到一个最佳点,如果不切出DCS,在还原后期随着进料量的增大,部分DCS裂解后来不及沉积在硅棒上形成硅粉颗粒!
回复 支持 反对

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2009-3-8 09:51:23 | 显示全部楼层
还原炉尾气经干法回收得到三氯氢硅和四氯化硅混合液,该三氯氢硅和四氯化硅混合液经干法精馏后,回还原炉的DCS在5%—8%,DCS的热解温度和还原温度都比TCS低,所以我认为DCS的含量对还原反应有影响。DCS含量高,在还原炉上的沉积是否增多,硅粉颗粒也是否增多,转化率是增加还是降低,安全系数是增加还是降低等。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-3-16 15:17:06 | 显示全部楼层
DCS含量高的话,tcs的单程转化率会降低,增加运行成本。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-3-17 14:13:24 | 显示全部楼层
干法回收气体中含有二氯二轻硅和氯化氢气体,经过活性炭过滤和提纯塔进行排低沸物,量会很少,或者没有,对还原影响不大的。
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-12-23 18:32 , Processed in 0.053994 second(s), 25 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表