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还原炉模拟

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发表于 2009-3-22 15:18:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家有没有对还原炉进行模拟的?
现在存在哪些技术难题?
刚开始这方面的研究,不知道怎么下手。请赐教!!!
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发表于 2009-3-22 17:25:48 | 显示全部楼层
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=101246
看看这个,汲取些思路。
关注这个主题,本人觉得模拟太复杂,要从流体力学和气固相沉积等方面考虑。
但是苦于现在还没一些数据,而且生长周期不确定,数据缺陷很多,从理论建摸到试验建摸都有很大的难题要解决。
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发表于 2009-3-23 09:02:30 | 显示全部楼层
可供参考:
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=326320&highlight=polysim
多晶硅生长模拟软件Polysim谁用过,效果如何?
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