多晶硅工厂污水处理

我公司正在上马一套多晶硅装置，那位专家知道多晶硅装置的污水处理工艺是怎样的，目前国内有没有成熟的处理技术和成功运行的工程实例。

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其实目前的都比较简单，就是废气、废液送去洗涤，用低浓度的氢氧化钠吸收中和，再送到污水处理厂生化处理，当然氯离子浓度只能靠大量水稀释才能达到排放标准。现在部分多晶硅企业准备上焚烧炉，对废气、废液进行焚烧处理，最后回收氯化氢，不过还没有经过实践检验，也不知道最终效果如何。

多晶硅废水是以三氯氢硅为主的废水，低PH值，主要是含无机物，几乎没有可生性，目前基本上是采用物化处理方法进行处理。但是由于混凝剂的功能不是很好，目前能将此废水做到三级或二级标准已是相当的好了。而且这类废水有毒，易挥发，因此处理难度极大。

不知道你厂是否有切割硅锭和硅片的工艺，如果有，那切割后的砂浆废水才是最难处理的。