关于多晶硅还原炉的结构材料

发表于 2009-3-4 08:56:45

大家在这里可以讨论一下多晶硅还原炉的水冷电极是采用无氧铜好还是普通紫铜好；密封采用聚乙烯好还是活性聚乙烯好？恳请说明理由。

发表于 2009-3-7 21:55:43

电极不知道，密封采用聚乙烯。

发表于 2009-3-15 11:45:07

电极用无氧铜，外面度银

发表于 2009-3-24 15:05:01

电极和石墨件接触的地方才镀银，密封用聚四氟

发表于 2009-3-26 15:44:48

只有在接触的地方才会镀金属，一般镀银，但是也有镀铂的，造价会高一点……密封一般用聚乙烯带吧！

发表于 2009-3-26 17:26:31

电极用紫铜的好
遇到过好多次电极冷却铜管破裂的情况，会造成电极冷却水管震动，不及时发现会导致电极绝缘套融化
换成紫铜的没发现过类似情况

发表于 2009-3-30 20:51:43

电极和电缆连接处用的紫铜板

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