如何有效去除三氯氢硅中的B P杂质

发表于 2009-4-10 11:41:49

工艺比较简单，关键在质量控制。由于他们之间的沸点很相近工艺条件控制很高。

发表于 2009-4-10 16:08:23

目前对B，P的去除这部分还有许多问题需要解决，B，P杂质是影响三氯氢硅纯度的很关键的因素。

发表于 2009-4-11 22:01:00

用吸附法吧，湿氮我不清楚哦，楼上你们所说的精馏很难除去的，B、P的分凝系数与SI很接近，精馏效果不理想

发表于 2009-4-11 23:03:37

还是用多塔精馏湿氮不实用

发表于 2009-4-13 21:50:53

P采用釜液分流

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