大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

多晶硅生产中的废气应该作何处理?

[复制链接]
发表于 2009-2-10 21:47:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产的工艺越来越趋于成熟化,然而多晶硅生产所带来的废气处理成了大多生产厂家所头疼得问题,随着多晶硅生产的扩大化,多晶硅污染问题越来越严重,许多生产厂家倾向于利润而忽视了环境问题,那么多晶硅生产过程中所产生的废气到底该做何处理呢?请大家积极参与讨论,谢谢!
回复

使用道具 举报

发表于 2009-2-11 16:38:35 | 显示全部楼层
有专门的废气废液处理啊,处理后固体掩埋或焚烧.
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-2-20 10:24:20 | 显示全部楼层
用专门的废气废水处理厂家,一般废气废水联动处理,用中性水喷淋处理废气,用碱液喷淋处理硅芯酸雾,用氢氧化钠或者是回水处理废水,水可以循环利用,定期外排
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-2-20 12:19:58 | 显示全部楼层
多晶硅生产过程中 尾气的种类和来源太多了。
一般还原炉 和氢化炉的尾气要进行回收,目前国内大多数多晶硅厂家用的美国CDI技术,国内技术好像还没有那家在用(希望国内技术加快研发力度,赶上国际水平,其实也不是很难的)。
硅棒清洗过程中需要酸洗,特别是氢氟酸需要特殊处理,因为国家对含氟的排放有严格要求的。据介绍有的是用氧化钙和HF反应生成Ca2F。然后将固体单独处理。
还有就是精馏或一些置换的尾气,当然要用淋洗塔处理。然后中和排放废水。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-2-20 19:08:59 | 显示全部楼层
氯硅烷的废气用碱液处理
氢氟酸用钙离子处理
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-4-14 10:14:38 | 显示全部楼层
产生的废气主要为氯硅烷,氯化氢等酸性气体,可采用石灰乳对这些废气在淋洗塔中进行喷淋中和处理,产生的大量水解物定期清理。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-4-15 19:07:05 | 显示全部楼层
还原尾气通过西门子法回收再利用。
生产过程 产生的尾气一般通过尾气淋洗塔还处理,主要成分氯硅烷、氯化氢等一般保持压力不超过20kpa,淋洗水流量40~60m3,当然可以具体计算
酸洗的尾气主要是多晶硅块、硅芯和HF、HNO3反应生成的NOx、HF等,主要通过NaOH进碱液池中和反应,酸雾淋洗塔处理。
液氯尾气主要是更换液氯钢瓶置换气,通过碱池(NaOH25%左右)处理。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2009-4-15 22:51:32 | 显示全部楼层
多晶硅生产中产生的尾气,都有专门的回收系统。
还原炉尾气:有CDI分离氢气、氯硅烷、HCl。
       氢气:送回还原继续利用;
       氯硅烷:送精馏工段提纯;
       HCl:送三氯氢硅合成。
氢化炉尾气:主要有三氯氢硅、氢气、四氯化硅,还有其它少量的氯硅烷。也有CDI分离重复利用。具体和还原炉尾气处理相似。
还有合成的尾气处理,都是有CDI处理的。
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-12-23 23:04 , Processed in 0.047038 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表